在本篇文章中，我們將學習MEMS加速度計、陀螺儀和磁力計的工作原理以及如何將它們與Arduino開發部一起使用。通過使用Processing IDE，我們將使用感測器進行一些實際應用。

MEMS概述

MEMS是非常小的系統或器件，由尺寸範圍為0.001mm至0.1mm的微小元件組成。這些元件由矽、聚合物、金屬和/或陶瓷製成，並且它們通常與CPU（微控制器）組合以完成系統。現在我們將簡要解釋每個微電子機械系統（MEMS）感測器的工作原理。

MEMS加速度計

它通過測量電容的變化來測量加速度。它的微觀結構看起來像下圖所示。它具有附著在彈簧上的質量塊，彈簧被限制為沿一個方向移動並固定在外板。因此，當施加特定方向上的加速度時，質量塊將移動，然後外板和質量塊之間的電容將改變。這種電容變化將被測量，處理，並且它將對應於特定的加速度值。

MEMS陀螺儀

陀螺儀使用科里奧利效應Coriolis Effect測量角速率。當質量以特定的速度在特定方向上移動時，並且施加外部角速率時，如綠色箭頭所示，將產生力，如藍色紅色箭頭所示，這將導致質量的垂直位移。與加速度計類似，這種位移將引起電容的變化，該電容將被測量和處理，這些變化對應於特定的角速率。

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