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LCD段碼屏光刻不良---浮膠

浮膠是顯影或腐蝕過程中常出現的一種不良現像,也是影響較為嚴重的一種光刻弊病。
顯影時產生的浮膠
在顯影時,玻璃表面的膠膜皺起呈桔皮狀或膠膜大片剝離。產生這一現像,說明膠膜與玻璃表面ITO層粘附不好,得認真找出原因。同時,出現問題的玻璃得返工。
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顯影時出現浮膠的原因一般有:
1)塗膠前玻璃表面清潔處理不當,表面有油汙,不汽等,或玻璃清潔後在空氣中放置時間過長,空氣中的水汽附在玻璃表面上;或者塗膜操作環境溼度太大,使膠與玻璃表面粘附不良。因此,得注意做好玻璃表面清潔處理和操作的環境的溫,溼度及清潔工作。
2)光刻膠配製有誤或膠陳舊不純,膠的光化學反應效能不好,使膠與ITO層成健能力差,或者膠膜不均勻和過厚,引起粘附不良。
3)前烘時間不足或過度。烘焙不足,膠膜內溶劑不能及時揮發,顯影時部分膠膜被溶除;烘焙過度,膠膜翹曲硬化,膠的感光特性會發生變化。所以前烘得恰當。
4)曝光不足,光硬化反應不徹底,膠膜溶於顯影液中,引起浮膠。因此在保證解析度的前提下,曝光要充分。
5)顯影時間太長,顯影液從膠膜底部不斷滲入,引起膠膜浮起。因此得控制好顯影時間。

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