潮科技 | Nanusens眾籌100萬歐元，利用標準CMOS工藝製造奈米感測器

摘要： 編者按：本文是36氪“邊界計劃”的轉載內容，來自微信公眾號“ MEMS ”（ID：MEMSensor），作者麥姆斯諮詢殷飛；36氪經授權轉載。 據麥姆斯諮詢報道，奈米技術的初創企業Nanusens，日前將其總部從西班牙巴塞羅那遷至英國，並通過Crowdcube（英國最大股權...

編者按：本文是36氪“邊界計劃”的轉載內容，來自微信公眾號“ ofollow,noindex" target="_blank">MEMS ”（ID：MEMSensor），作者麥姆斯諮詢殷飛；36氪經授權轉載。

據麥姆斯諮詢報道，奈米技術的初創企業Nanusens，日前將其總部從西班牙巴塞羅那遷至英國，並通過Crowdcube（英國最大股權眾籌平臺）從786人處眾籌超過100萬歐元（941,950英鎊）資金。 此次眾籌是Nanusens的pre-A輪融資，用於幫助公司加大研發投資和擴大員工規模，加速產品推廣。

Nanusens的技術簡化了產品生產。到目前為止，感測器都無法與標準CMOS生產線相容，需要使用不同的工藝來生產MEMS產品。Nanousens的多項未申請的專利技術使其能夠採用與其他晶片通用的標準CMOS工藝來製造奈米感測器。

這種創新技術大大降低了感測器的尺寸和成本，並將產品上市時間縮短了85%。Nanusens相信，其顛覆性技術將徹底改變感測器市場，滿足智慧手機、可穿戴技術和物聯網裝置對低成本感測器日益增長的需求，這已經使感測器市場成為了價值數十億美元的產業。

在Nanusens的工藝中，使用HF蒸汽（vHF）在鈍化層的焊盤（pad）開口區刻蝕出金屬層間介電質（IMD），以獲得奈米感測器的感測結構。然後將通孔密封，根據需要對晶片進行封裝。

由於該公司感測器僅採用了標準的CMOS工藝，並且能夠直接和所需要的有源電路整合，因此，其感測器能夠獲得和CMOS器件一樣的高良率。