廈門這項晶片技術 大陸第一
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美日豐創無塵車間內
導報訊
（記者 鄔眉 通訊員管軒 雷颺 文/美日豐創光罩公司供圖）積體電路俗稱“晶片”，光罩是晶片的關鍵性技術。昨日，廈門注入強大“芯”力量——廈門美日豐創光罩有限公司宣佈正式開工，將於6月出貨，預計今年產能將達4000片。
昨天上午10：30，在廈門火炬(翔安)產業區，美日豐創舉行開工典禮。美日豐創由全球商用光罩巨頭——美國豐創股份和日本DNP(大日本印刷株式會社)合資，於2017年6月破土動工，專案總投資10.67億元，總建築面積3.9萬平方米，是目前國內唯一一家獨立的高階光罩廠，可為國內提供主流的14納米及以上製程的光罩。
光罩是積體電路產業鏈的重要組成部分，類似於生產積體電路的“膠捲底片”，全世界能夠生產光罩的先進工廠不超過十家，此前，大陸主要高階晶圓廠商使用的光罩多依賴國外進口。美日豐創光罩專案可為已經落戶廈門的聯芯配套，投產後將擴大聯芯產能，增強競爭力，同時，可吸引更多積體電路設計企業聚集廈門，強化積體電路產業集聚效應，對廈門市乃至大陸的積體電路產業發展都具有重要意義。
近年來，廈門正在打造積體電路千億產業鏈，2017年廈門火炬高新區積體電路產業規模居全國第五，園區已集聚積體電路及配套企業近150家，並初步形成覆蓋“晶片設計、材料與裝置、晶圓製造、封裝測試、應用”的積體電路全產業鏈佈局。其中，聯芯12英寸晶圓廠已經投產，成為我國大陸地區已投產的技術水平最先進、良率最高的12英寸晶圓廠。
據介紹，目前，美日豐創正加緊試產跑線，投產後初期每月產能為500片，1年後將增產到1200片到1500片，成為大陸地區規模最大的積體電路商用光罩生產基地。
美國豐創公司執行長Peter Kirlin表示，下一步，將在廈打造世界頂級光罩研發中心，計劃投資1億美元研究7納米和EUV（極紫外線）光刻工藝，為廈門積體電路發展提供更多的技術支撐。據悉，目前全球只有臺積電、三星和英特爾三家國際大廠有這樣的工藝水平研發和生產。
科普
光罩和積體電路
積體電路是一種微型電子器件或部件。它採用一定的工藝，把一個電路中所需的電晶體、電阻、電容和電感等元件及佈線互連一起，製作在一小塊或幾小塊半導體晶片或介質基片上，然後封裝在一個管殼內，成為具有所需電路功能的微型結構。
光罩是將電路設計轉移到晶圓片上的一個必要轉換媒介，由石英玻璃作為襯底，在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠，成為一種感光材料。
在積體電路的過程中，將光罩送至晶圓廠放置於光刻機臺中，利用光蝕刻技術，在半導體上形成圖形，為將圖形複製於晶圓上，必須透過光罩作用，類似於沖洗照片時，利用底片將影像複製至相片上，其中把晶圓片比作照片，那麼光罩就相當於“膠捲底片”，只要光罩存在，就能複製無數的晶圓片。