光刻機巨頭ASML供應商失火,殃及全球7nm大戰“關鍵軍火”供應?
晶片產業正值多事之“冬”,除了承受全球景氣遲緩的巨大壓力外,裝置產業更是冷風颼颼,3 日更傳出荷蘭光刻機龍頭大廠 ASML 的元件供應商 Prodrive 發生火災,ASML 立刻啟動備用供應商的策略調貨,今年出貨不至於有影響,但 2019 年出貨是否遞延要再評估,業內人士認為,如果受影響的是攸關臺積電、三星電子(Samsung Electronics)火熱大戰的 EUV 光刻機,ASML 身為全球唯一的供應商,恐對全球 7 奈米大戰帶來不確定因素!

(來源:ASML)
裝置業上半年景氣熱,然下半年卻處於“火線地帶”
2018 年的裝置產業一直是處於晶片業的“火線地帶”,原本上半年訂單滿手且出貨不及,到了下半年,整個產業景氣大反轉,10 月國內更發生 DRAM 自主技術陣營福建晉華突然被美國禁運裝置的事件,11 月更傳出美系裝置大廠鼓勵員工多排休假,有往年放“無薪假”的隱隱前兆。
原以為快到年底,不平靜的 2018 年終於要結束,即將要迎接嶄新 2019 年之際,突然又發生荷蘭光刻機龍頭大廠 ASML 供應商失火事件!
ASML 對 DT 君表示,元件和模組供應商 Prodrive 在週末發生火災,導致供應商現有的庫存產能遭到摧毀,公司在第一時間已經找其他供應商提供代替元件和物料,目前確定 2018 年出貨時程不會有影響,但 2019 年初的供貨可能遞延,目前正在評估中。
ASML 也強調,由於事發突然,基於謹慎考量,需要幾周的時間來評估該事件的實際影響,最重要的事,沒有人員在該起火災中發生意外。
Prodrive 是 ASML 的光刻機元件和模組供應商,據瞭解,雙方合作時間非常長,至少可追溯到 2011 年。ASML 在 2017 年也頒發給 Prodrive 最佳供應商獎項“ASML Supplier Collaboration Award”。
ASML 突發供應商失火事件,是否影響緊俏的 EUV 機臺受注目
行業內人士認為,實際影響要等 ASML 公佈評估後的結果,可能受影響的是哪一種機臺裝置,是深紫外光(DUV)機臺?或是攸關於臺積電、三星 7 奈米大戰的極紫外光(EUV)機臺?因為兩家大廠會在 2019 年進入 7 奈米 EUV 機臺大戰的關鍵時刻,後勤的“關鍵軍火裝置”即時供應是至關重要!
根據美國調研機構的資料顯示,2017 年 ASML 在全球半導體光刻裝置廠中以 85 % 的市佔率穩居龍頭,其次是日本廠商尼康(Nikon ) 的 10.3 %,以及佳能 ( Canon ) 的 4.3 %,而 ASML 已經是連續 16 年穩居市場第一。
再者,ASML 在 EUV 光刻機上,是處於全球獨佔的地位,意思是該半導體裝置只有 ASML 能供應,這在全球產業鏈中屬於極度特別的狀態,而一臺 EUV 光刻機的造價高達 1 億歐元。

(來源:ASML)
ASML 目前有三大產品線分別為 EUV 光刻機 、 DUV 光刻機 和 application products。當中,DUV 光刻機是營運主力且出貨量最大,而 EUV 是最具前瞻性的產品,明年開始放量。
根據 ASML 預估,2018 年底可望完成共 18 臺 EUV 光刻系統的出貨,由於第一批 EUV 匯入生產的客戶將於 2019 年進入量產階段,公司也預估 2019 年 EUV 光刻機臺的出貨量可達 30 臺,2020 年出貨量更將上看 40 臺。
此外,ASML 也致力於推進 EUV 技術藍圖,並取得重要進展,下一代 NXE:3400C 裝置預計於 2019 年下半年開始出貨, NXE : 3400C 裝置每小時曝光的晶圓數量增加至 155 片。
行業內人士認為,現在各界最關心的環節是,ASML 供應商失火事件是否會影響到主要大客戶在 2019 年 7 奈米相關機臺的出貨,包括最關鍵的 EUV 和 DUV 裝置。
臺積電、三星 EUV 光刻機大戰將在明年達到頂峰
臺積電的 7 奈米工藝已經在 2018 年量產,但是採用非 EUV 技術的版本,而是沿用多重曝光技術(multi-patterning),到了 2019 年第一季,臺積電採用 EUV 技術的第二代 7 奈米工藝(N7+)就會開始流片,全面迎戰三星採用 EUV 技術的 7 奈米工藝。
臺積電第二代 7 奈米工藝所以備受注目,是因為首家客戶是就是海思新一代的麒麟 990 處理器,預計第二季可開始生產,這是華為第一款支援 5G 的處理器,而第二代 7 奈米工藝(N7+)可以帶來電晶體密度再提升 20 %,功耗降低 10% 的優勢。
按照這個時程推估,海思新一代的麒麟 990 處理器量產時程,會對上三星採用 EUV 技 術的第一代 7 奈米工藝,但三星主要以支援自己智慧手機為主,之前臺積電和三星針對究竟是誰先量產 EUV 技術,是互不相讓!
再者,ASML 在中國的業務比重也是越來越大,今年上半年中國市場佔 ASML 營收約 20 %,估計全年平均約可達到 15 % 左右。目前 ASML 在中國的客戶有中芯國際、華虹半導體、長江儲存、合肥長鑫、英特爾大連廠、SK 海力士西安廠、福建晉華等。

(來源:DT君)
摩爾定律走到極限之際,有幾條路徑是延續其壽命的關鍵,其中之一就是 EUV 光刻機技術的突破,而唯一能生產 EUV 光刻機的 ASML 角色更是關鍵。
經過許多年的研發和進展,EUV 光刻機的曝光效率大幅提升到可以讓客戶匯入的階段,採用 EUV 光刻機的晶片終於要放量,2019 年會是半導體產的歷史時刻,這次 ASML 供應商失火或許是小風波,但也反應“關鍵軍火”的稀少性,讓全球晶片生產成本越來越昂貴、供應商越來越集中,產業鏈隨時都處於極度緊繃的狀態!